日本新宇宙 PS-7固定式气体检测器(半导体工厂用) |
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日本新宇宙 PS-7固定式气体检测器(半导体工厂用) 商品名：PS-7(半导体工厂用) 型号：新宇宙式特气检测部 PS-7（半导体工厂用） 特性：专为半导体行业定制，传感器自由更换，维护方便 检测对象：半导体材料气体 日本新宇宙 PS-7固定式气体检测器(半导体工厂用) 检测方式： 特点： 带有气体采样流量自动控制功能 LCD显示，现场状态一目了然 实现小型、轻量化 可简单地更换传感器和采样气路 带有防止传感器单元错误插入的功能 可以设定多样的维护模式 组合对应热分解单元与定电位电解式传感器，能检测NF3等 实现了用PDA读取数据 符合CE规格，SEMI规格 规格： 规格 日本新宇宙 PS-7固定式气体检测器(半导体工厂用) 型号 PS-7 标准型 附带转换器组件型 检测原理 •定电位电解式、热丝型半导体式、隔膜电流电池式 采样方式 泵吸引式（0.5L/min吸引流量 自动控制） 采样配管 特氟隆外径6内径4mm、配管距离在20m以内 气体浓度显示 液晶数字四位显示（附带单位）20分割条形图 日本新宇宙 PS-7固定式气体检测器(半导体工厂用) 报警接点 •气体报警（1段以及二级） 报警、红色液晶指示灯闪烁、液晶画面 第1段 ALARM1 第1段 ALARM1 ALARM2显示 外部输出 气体浓度模拟输出 DC4~20mA（与电源的负极通用） 气体报警接点（1段以及两极） 1a无电压接点/自动复位 故障报警接点 （开路集电极/自动复位） 适合电缆线 控制用屏幕电缆线（Φ8~11mm）x2 3芯或者4芯 使用温度湿度范围 0℃~40℃（但是不能有剧烈的温度变化）、30~85%RH（但不能结露） 使用电源 DC24V±10% 消耗电力 约7w 尺寸 •W62xH124xD143mm(除去突起物) 重量 约1.0kg 安装方法 壁挂式
•热分解+定电位电解式
•流量降低报警 堵塞指示显示：流量显示为低速运转 报警：黄色LED指示灯闪烁 ：液晶画面 FLOW显示以及流量显示为停止运转状态
•传感器故障报警/传感器误插入报警 报警：黄色LED指示灯闪烁 ：液晶画面 SENS.显示 •热分解炉断线报警 报警：黄色LED指示灯闪烁 ：液晶画面 CONV.显示
•W62xH124xD143mm(除去选购件和突起物)
厂家信息
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